LVDT位移传感器，多用于0-10mm的小位移测量；电涡流传感器，常用于0-10mm的小位移测量，不过只对金属材料敏感；电位计原理直线位移传感器部分特殊型号，例如：KSP、KSC、KSF等，都可用于小位移的测量。以上是常用的微型位移传感器，除此之外，激光位移传感器、超声波位移传感器、光纤位移传感器等都可用于微位移测量。以上几类产品共同的特点就是传感器自身的安装尺寸较小、可测量的行程也比较小（激光位移传感器、超声波位移传感器除外），产品的测量精度与分辨率相对较高，方便在一些空间特别狭小的微型设备、集成设备上安装使用